Dry Etching of Lead-Free (K,Na)NbO$_{3}$ Piezoelectric...

Japanese Journal of Applied Physics 2012 / 6 Vol. 51

Dry Etching of Lead-Free (K,Na)NbO$_{3}$ Piezoelectric Films by Ar/C$_{4}$F$_{8}$ Plasma

Horikiri, Fumimasa, Shibata, Kenji, Suenaga, Kazufumi, Watanabe, Kazutoshi, Nomoto, Akira, Mishima, Tomoyoshi, Kurokawa, Fumiya, Kanno, Isaku
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Volume:
51
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.51.076202
Date:
June, 2012
Fichier:
PDF, 573 KB
english, 2012
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