High-Quality p-Type a-SiC Films Obtained by Using a New...

Japanese Journal of Applied Physics 1989 / 12 Vol. 28; Iss. Part 1, No

High-Quality p-Type a-SiC Films Obtained by Using a New Doping Gas of B(CH 3 ) 3

Tarui, Hisaki, Matsuyama, Takao, Okamoto, Shingo, Dohjoh, Hiroshi, Hishikawa, Yoshihiro, Nakamura, Noboru, Tsuda, Shinya, Nakano, Shoichi, Ohnishi, Michitoshi, Kuwano, Yukinori
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Volume:
28
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.28.2436
Date:
December, 1989
Fichier:
PDF, 692 KB
english, 1989
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