Focused Ion Beam Lithography Using Ladder Silicone Spin-On...

Japanese Journal of Applied Physics 1994 / 12 Vol. 33; Iss. Part 1, No

Focused Ion Beam Lithography Using Ladder Silicone Spin-On Glass

Suzuki, Kohei, Yamashita, Motoji, Ueda, Hirokazu, Nakaue, Akimitsu
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Volume:
33
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.33.7033
Date:
December, 1994
Fichier:
PDF, 834 KB
english, 1994
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