Electrical properties of W/Si interfaces with embedded...

Microelectronic Engineering 2003 Vol. 70; Iss. 2-4

Electrical properties of W/Si interfaces with embedded Ge/Si islands

A. Hattab, F. Meyer, Vy Yam, D. Bouchier, R. Meyer, O. Schneegans, C. Clerc
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Volume:
70
Année:
2003
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/s0167-9317(03)00433-7
Fichier:
PDF, 280 KB
english, 2003
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