Simulation of local mechanical stresses in lines on substrate
Audrey Loubens, Roland Fortunier, René Fillit, Olivier ThomasVolume:
70
Année:
2003
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/s0167-9317(03)00394-0
Fichier:
PDF, 279 KB
english, 2003