Characterisation of JSR’s spin-on hardmask FF-02

Microelectronic Engineering 2003 Vol. 70; Iss. 2-4

Characterisation of JSR’s spin-on hardmask FF-02

A. Das, Q.T. Le, Y. Furukawa, V.H. Nguyen, V. Terzieva, F. de Theije, C.M. Whelan, M. Maenhoudt, H. Struyf, Zs. Tókei, F. Iacopi, M. Stucchi, L. Carbonell, I. Vos, H. Bender, M. Patz, G. Beyer, M. Van
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Volume:
70
Année:
2003
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/s0167-9317(03)00367-8
Fichier:
PDF, 248 KB
english, 2003
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