High-Speed Mechanical Actuator for Precision Optical Path...

Japanese Journal of Applied Physics 2009 / 1 Vol. 48; Iss. 1

High-Speed Mechanical Actuator for Precision Optical Path Length Control

Machida, Kosuke, Moriwaki, Shigenori, Mio, Norikatsu
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Volume:
48
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.48.010212
Date:
January, 2009
Fichier:
PDF, 671 KB
english, 2009
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