Characterization of Antisticking Layers for UV Nanoimprint...

Japanese Journal of Applied Physics 2010 / 6 Vol. 49; Iss. 6

Characterization of Antisticking Layers for UV Nanoimprint Lithography Molds with Scanning Probe Microscopy

Kurihara, Masaaki, Hatakeyama, Sho, Yamada, Noriko, Shimomura, Takeya, Nagai, Takaharu, Yoshida, Kouji, Tomita, Tatsuya, Hoga, Morihisa, Hayashi, Naoya, Ohtani, Hiroyuki, Fujihira, Masamichi
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Volume:
49
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.49.06GL02
Date:
June, 2010
Fichier:
PDF, 466 KB
english, 2010
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