Aberration-Compensation Methods for 0.85-Numerical-Aperture...

Japanese Journal of Applied Physics 2002 / 3 Vol. 41; Iss. Part 1, No

Aberration-Compensation Methods for 0.85-Numerical-Aperture ( NA ) Single-Element Objective Lens

Ariyoshi, Tetsuo, Shimano, Takeshi, Maruyama, Koichi
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Volume:
41
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.41.1842
Date:
March, 2002
Fichier:
PDF, 185 KB
english, 2002
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