Advanced electric-field scanning probe lithography on...

Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 2015 / 06 Vol. 14; Iss. 3

Advanced electric-field scanning probe lithography on molecular resist using active cantilever

Kaestner, Marcus, Aydogan, Cemal, Ivanov, Tzvetan, Ahmad, Ahmad, Angelov, Tihomir, Reum, Alexander, Ishchuk, Valentyn, Krivoshapkina, Yana, Hofer, Manuel, Lenk, Steve, Atanasov, Ivaylo, Holz, Mathias,
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Volume:
14
Langue:
english
Journal:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
DOI:
10.1117/1.jmm.14.3.031202
Date:
June, 2015
Fichier:
PDF, 12.78 MB
english, 2015
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