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Fractal Aggregation Behavior in Amorphous Silicon Nitride Films

Chao, Ye, Zhao-yuan, Ning, Yu-hua, Guo, Xiang-ying, Wang, Yu, Xin, Yuan-chang, Wang, Ming-rong, Shen, Hao, Wang
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Volume:
14
Langue:
english
Journal:
Chinese Physics Letters
DOI:
10.1088/0256-307X/14/6/013
Date:
June, 1997
Fichier:
PDF, 314 KB
english, 1997
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