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Femtosecond-laser hyperdoping silicon in an SF6 atmosphere:...

Journal of Applied Physics 2015 / 03 Vol. 117; Iss. 12

Femtosecond-laser hyperdoping silicon in an SF6 atmosphere: Dopant incorporation mechanism

Sher, Meng-Ju, Mangan, Niall M., Smith, Matthew J., Lin, Yu-Ting, Marbach, Sophie, Schneider, Tobias M., Gradečak, Silvija, Brenner, Michael P., Mazur, Eric
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Volume:
117
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.4914520
Date:
March, 2015
Fichier:
PDF, 828 KB
english, 2015
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