Atomic layer deposition of Al-incorporated Zn(O,S) thin...

Applied Physics Letters 2014 / 11 Vol. 105; Iss. 20

Atomic layer deposition of Al-incorporated Zn(O,S) thin films with tunable electrical properties

Park, Helen Hejin, Jayaraman, Ashwin, Heasley, Rachel, Yang, Chuanxi, Hartle, Lauren, Mankad, Ravin, Haight, Richard, Mitzi, David B., Gunawan, Oki, Gordon, Roy G.
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Volume:
105
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.4901899
Date:
November, 2014
Fichier:
PDF, 927 KB
english, 2014
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