High-throughput fabrication of compact and flexible bilayer...

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 2014 / 05 Vol. 32; Iss. 3

High-throughput fabrication of compact and flexible bilayer nanowire grid polarizers for deep-ultraviolet to infrared range

Wang, Li, Schift, Helmut, Gobrecht, Jens, Ekinci, Yasin, Kristiansen, Per Magnus, Solak, Harun H., Jefimovs, Konstantins
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Volume:
32
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
DOI:
10.1116/1.4874318
Date:
May, 2014
Fichier:
PDF, 1.03 MB
english, 2014
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