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Fabrication and plasma resistance of Y2O3 ceramics

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Ceramics International 2015 / 7

Fabrication and plasma resistance of Y2O3 ceramics

Kim, Chan Seung, Kim, Myong Jun, Cho, Hyun, Park, Tae-Eon, Yun, Young-Hoon
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Langue:
english
Journal:
Ceramics International
DOI:
10.1016/j.ceramint.2015.06.109
Date:
July, 2015
Fichier:
PDF, 2.59 MB
english, 2015
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