Optimal design of a flexure hinge based XYφ wafer stage

Optimal design of a flexure hinge based XYφ wafer stage

Jae W. Ryu, Dae-Gab Gweon, Kee S. Moon
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
21
Année:
1997
Langue:
english
Pages:
11
DOI:
10.1016/s0141-6359(97)00064-0
Fichier:
PDF, 1.35 MB
english, 1997
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué