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Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)
Rothe, Hendrik, Gruhlke, Martin, Petersen, RalphVolume:
73
Langue:
german
Journal:
tm – Technisches Messen
DOI:
10.1524/teme.2006.73.9.511
Date:
January, 2006
Fichier:
PDF, 486 KB
german, 2006