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Sputtering of metals by heavy ions in the inelastic energy...

Vacuum 2002 Vol. 66; Iss. 2

Sputtering of metals by heavy ions in the inelastic energy loss range

Yu.N Cheblukov, A.Yu Didyk, A Halil, V.K Semina, A.E Stepanov, A.L Suvorov, N.A Vasiliev
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Volume:
66
Année:
2002
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/s0042-207x(02)00109-4
Fichier:
PDF, 160 KB
english, 2002
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