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Growth of polycrystalline silicon thin films on glass

Growth of polycrystalline silicon thin films on glass

Tetsuya Akasaka, Dyane He, Yusuke Miyamoto, Nobuaki Kitazawa, Isamu Shimizu
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Volume:
296
Année:
1997
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0040-6090(96)09388-1
Fichier:
PDF, 469 KB
english, 1997
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