Thermal stability of Mo/Si multilayers with boron carbide...

Thin Solid Films 2003 Vol. 444; Iss. 1-2

Thermal stability of Mo/Si multilayers with boron carbide interlayers

Thomas Böttger, Dirk C. Meyer, Peter Paufler, Stefan Braun, Matthew Moss, Hermann Mai, Eckhard Beyer
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Volume:
444
Année:
2003
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1016/s0040-6090(03)01028-9
Fichier:
PDF, 1.06 MB
english, 2003
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