Low temperature synthesis of dense SiO2 thin films by ion...

Thin Solid Films 2001 Vol. 396; Iss. 1-2

Low temperature synthesis of dense SiO2 thin films by ion beam induced chemical vapor deposition

A Barranco, F Yubero, J Cotrino, J.P Espinós, J Benı́tez, T.C Rojas, J Allain, T Girardeau, J.P Rivière, A.R González-Elipe
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Volume:
396
Année:
2001
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/s0040-6090(01)01261-5
Fichier:
PDF, 819 KB
english, 2001
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