Diffusion and Precipitation of Oxygen in Silicon Doped with...

Solid State Phenomena 1997 Vol. 57-58

Diffusion and Precipitation of Oxygen in Silicon Doped with Germanium

Khirunenko, L.I., Pomozov, Yu.V., Shakhovtsov, V.I., Shumov, V.V.
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Volume:
57-58
Année:
1997
Journal:
Solid State Phenomena
DOI:
10.4028/www.scientific.net/ssp.57-58.183
Fichier:
PDF, 308 KB
1997
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