A Z-axis Quartz Cross-fork Micromachined Gyroscope Based on...

Sensors 2010 / 03 Vol. 10; Iss. 3

A Z-axis Quartz Cross-fork Micromachined Gyroscope Based on Shear Stress Detection

Xie, Liqiang, Wu, Xuezhong, Li, Shengyi, Wang, Haoxu, Su, Jianbin, Dong, Peitao
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Volume:
10
Langue:
english
Journal:
Sensors
DOI:
10.3390/s100301573
Date:
March, 2010
Fichier:
PDF, 357 KB
english, 2010
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