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Studies of nanoindentation and residual stress analysis of...

Semiconductor Science and Technology 2015 / 05 Vol. 30; Iss. 5

Studies of nanoindentation and residual stress analysis of Ge/GaAs epilayers

Ponraj, Joice Sophia, Buffagni, Elisa, Deivasigamani, Geetha, Dakshanamoorthy, Arivuoli, Bosi, Matteo, Ferrari, Claudio, Attolini, Giovanni
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Volume:
30
Langue:
english
Journal:
Semiconductor Science and Technology
DOI:
10.1088/0268-1242/30/5/055004
Date:
May, 2015
Fichier:
PDF, 1.45 MB
english, 2015
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