EFFECTS OF NITROGEN INCORPORATION IN LANTHANUM-BASED...

EFFECTS OF NITROGEN INCORPORATION IN LANTHANUM-BASED DIELECTRIC FILMS

Edon, V., Hugon, M.-C., Agius, B., Bastos, K. P., Miotti, L., Driemeier, C., Salvador, L., Krug, C., Baumvol, I. J. R., Eypert, C., Durand, O.

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Volume:

Langue:

english

Journal:

Integrated Ferroelectrics

DOI:

10.1080/10584580802088991

Date:

June, 2008

Fichier:

PDF, 1.73 MB

english, 2008

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