Foil-to-Foil System Integration Through Capillary...

Journal of Microelectromechanical Systems 2015 / 2 Vol. 24; Iss. 1

Foil-to-Foil System Integration Through Capillary Self-Alignment Directed by Laser Patterning

Arutinov, Gari, Mastrangeli, Massimo, Smits, Edsger C. P., van Heck, Gert, den Toonder, Jaap M. J., Dietzel, Andreas
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Volume:
24
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2014.2321013
Date:
February, 2015
Fichier:
PDF, 7.85 MB
english, 2015
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