Ultra-thin gate oxide reliability projections

Solid-State Electronics 2002 Vol. 46; Iss. 3

Ultra-thin gate oxide reliability projections

B.E. Weir, M.A. Alam, P.J. Silverman, F. Baumann, D. Monroe, J.D. Bude, G.L. Timp, A. Hamad, Y. Ma, M.M. Brown, D. Hwang, T.W. Sorsch, A. Ghetti, G.D. Wilk
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Volume:
46
Année:
2002
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/s0038-1101(01)00103-4
Fichier:
PDF, 205 KB
english, 2002
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