Implantation, Diffusion, Activation, and Recrystallization...

Electrochemical and Solid-State Letters 2009 Vol. 12; Iss. 12

Implantation, Diffusion, Activation, and Recrystallization of Gallium Implanted in Preamorphized and Crystalline Germanium

Hellings, Geert, Wuendisch, Clemens, Eneman, Geert, Simoen, Eddy, Clarysse, Trudo, Meuris, Marc, Vandervorst, Wilfried, Posselt, Matthias, De Meyer, Kristin
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Volume:
12
Année:
2009
Langue:
english
Journal:
Electrochemical and Solid-State Letters
DOI:
10.1149/1.3225204
Fichier:
PDF, 209 KB
english, 2009
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