Mask-filtering-based inverse lithography

Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 2013 / 11 Vol. 12; Iss. 4

Mask-filtering-based inverse lithography

Lv, Wen, Xia, Qi, Liu, Shiyuan
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Volume:
12
Langue:
english
Journal:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
DOI:
10.1117/1.JMM.12.4.043003
Date:
November, 2013
Fichier:
PDF, 10.63 MB
english, 2013
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