Air bridge and via hole technology for GaAs based microwave...

Microelectronics Journal 1988 Vol. 19; Iss. 5

Air bridge and via hole technology for GaAs based microwave devices

J.K. Singh, O.P. Daga, H.S. Kothari, B.R. Singh, W.S. Khokle
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Volume:
19
Année:
1988
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0026-2692(88)80135-6
Fichier:
PDF, 1.50 MB
english, 1988
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