Deactivation of Ultra Shallow B and BF2 Profiles After...

MRS Proceedings 2006 / 1 Vol. 912

Deactivation of Ultra Shallow B and BF2 Profiles After Non-melt Laser Annealing

Sharp, Jim, Cowern, Nicholas E.B, Webb, Roger P., Giubertoni, Damiano, Gennaro, Salvotore, Bersani, Massimo, Foad, Majeed A., Kirkby, Karen J.
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Volume:
912
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-0912-c04-07
Date:
January, 2006
Fichier:
PDF, 223 KB
english, 2006
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