TVS Measurements of Metal Ions in Low-k Dielectrics: Effect...

MRS Proceedings 2008 / 1 Vol. 1079

TVS Measurements of Metal Ions in Low-k Dielectrics: Effect of H2O Uptake

Ciofi, Ivan, Tökei, Zsolt, Mangraviti, Giovanni, Beyer, Gerald
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Volume:
1079
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-1079-n05-08
Date:
January, 2008
Fichier:
PDF, 271 KB
english, 2008
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