Low-temperature laser-CVD thin film growth of SiC from...

Journal of Crystal Growth 2003 Vol. 258; Iss. 3-4

Low-temperature laser-CVD thin film growth of SiC from Si2H6 and C2H2

A Santoni, J Lancok, S Loreti, I Menicucci, C Minarini, F Fabbri, D Della Sala
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Volume:
258
Année:
2003
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/s0022-0248(03)01554-9
Fichier:
PDF, 256 KB
english, 2003
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