Effect of the axial temperature gradient on the formation...

Effect of the axial temperature gradient on the formation of grown-in defect regions in Czochralski silicon crystals; reversion of the defect regions between the inside and outside of the Ring-OSF

Masahiko Okui, Manabu Nishimoto
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Volume:
237-239
Année:
2002
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/s0022-0248(01)02336-3
Fichier:
PDF, 188 KB
english, 2002
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