Germanium Incorporation in HfO[sub 2] Dielectric on...

Journal of The Electrochemical Society 2006 Vol. 153; Iss. 3

Germanium Incorporation in HfO[sub 2] Dielectric on Germanium Substrate

Zhang, Qingchun, Wu, Nan, Lai, Doreen Mei Ying, Nikolai, Yakovlev, Bera, L. K., Zhu, Chunxiang
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Volume:
153
Année:
2006
Langue:
english
Journal:
Journal of The Electrochemical Society
DOI:
10.1149/1.2160432
Fichier:
PDF, 106 KB
english, 2006
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