Investigation of Barrier Property of Copper Manganese Alloy...

IEEE Transactions on Device and Materials Reliability 2015 / 3 Vol. 15; Iss. 1

Investigation of Barrier Property of Copper Manganese Alloy on Ruthenium

Su, Yin-Hsien, Wu, Sze-Ann, Wu, Chia-Yang, Wang, Ying-Lang, Lee, Wen-Hsi
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Volume:
15
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability
DOI:
10.1109/tdmr.2014.2386319
Date:
March, 2015
Fichier:
PDF, 1.98 MB
english, 2015
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