Low Temperature Irreversible Poly(DiMethyl) Siloxane...

Journal of Microelectromechanical Systems 2014 / 10 Vol. 23; Iss. 5

Low Temperature Irreversible Poly(DiMethyl) Siloxane Packaging of Silanized SU8 Microchannels: Characterization and Lab-on-Chip Application

Hamdi, Feriel S., Woytasik, Marion, Couty, Magdalena, Francais, Olivier, Le Pioufle, Bruno, Dufour-Gergam, Elisabeth
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Volume:
23
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2014.2331454
Date:
October, 2014
Fichier:
PDF, 5.20 MB
english, 2014
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