The design and test of MEMS piezoresistive ultrasonic...

Journal of Semiconductors 2013 / 03 Vol. 34; Iss. 3

The design and test of MEMS piezoresistive ultrasonic sensor arrays

Lian, Deqin, He, Changde, Zhang, Hui, Yu, Jiaqi, Yuan, Kejing, Xue, Chenyang
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Volume:
34
Langue:
english
Journal:
Journal of Semiconductors
DOI:
10.1088/1674-4926/34/3/034007
Date:
March, 2013
Fichier:
PDF, 1.48 MB
english, 2013
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