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[Nanostructure Science and Technology] Alternative Lithography || Step and Flash Imprint Lithography

Sotomayor Torres, Clivia M.
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Volume:
10.1007/97
Année:
2003
Langue:
english
DOI:
10.1007/978-1-4419-9204-8_7
Fichier:
PDF, 2.33 MB
english, 2003
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