Fabrication of GaSb Microlenses by Photo and E-Beam...

Solid State Phenomena 2004 Vol. 99-100

Fabrication of GaSb Microlenses by Photo and E-Beam Lithography and Dry Etching

Papis, E., Piotrowska, Anna, Piotrowski, T.T., Gołaszewska, K., Ilka, L., Kruszka, R., Ratajczak, Jacek, Kątcki, J., Wróbel, J., Aleszkiewicz, M., Łukaskiewicz, R.
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Volume:
99-100
Année:
2004
Langue:
english
Journal:
Solid State Phenomena
DOI:
10.4028/www.scientific.net/SSP.99-100.83
Fichier:
PDF, 812 KB
english, 2004
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