Electrical Characterization of As-Grown and Thermally...

Solid State Phenomena 1999 Vol. 69-70

Electrical Characterization of As-Grown and Thermally Treated 8'' Silicon Wafers

Castaldini, Antonio, Cavalcoli, Daniela, Cavallini, Anna, Pizzini, Sergio, Susi, E.
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Volume:
69-70
Année:
1999
Journal:
Solid State Phenomena
DOI:
10.4028/www.scientific.net/SSP.69-70.143
Fichier:
PDF, 549 KB
1999
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