Non-Contact Post Cu CMP Cleaning Using Megasonic Energy
Fyen, Wim, Lauerhaas, Jeffrey M., Vos, Ingrid, Meuris, Marc, Mertens, Paul W., Heyns, Marc M.Volume:
76-77
Année:
2001
Journal:
Solid State Phenomena
DOI:
10.4028/www.scientific.net/SSP.76-77.39
Fichier:
PDF, 381 KB
2001