Low Temperature CVD of Ru from C6H8Ru(CO)3

MRS Proceedings 2007 / 1 Vol. 990

Low Temperature CVD of Ru from C6H8Ru(CO)3

Lazarz, Teresa S, Yang, Yu, Kumar, Navneet, Kim, Do Young, Noh, Wontae, Girolami, Gregory S, Abelson, John R
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Volume:
990
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/PROC-0990-B09-06
Date:
January, 2007
Fichier:
PDF, 253 KB
english, 2007
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