A Novel Organosiloxane Vapor Annealing Process for...

MRS Proceedings 2004 / 1 Vol. 812

A Novel Organosiloxane Vapor Annealing Process for Improving Elastic Modulus of Porous Low-k Films

Kohmura, Kazuo, Oike, Shunsuke, Murakami, Masami, Tanaka, Hirofumi, Takada, Syozo, Seino, Yutaka, Kikkawa, Takamaro
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Volume:
812
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/PROC-812-F6.2
Date:
January, 2004
Fichier:
PDF, 77 KB
english, 2004
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