Temperature Dependence of the Elastic Constants of Doped...

Journal of Microelectromechanical Systems 2015 / 6 Vol. 24; Iss. 3

Temperature Dependence of the Elastic Constants of Doped Silicon

Ng, Eldwin J., Hong, Vu A., Yang, Yushi, Ahn, Chae Hyuck, Everhart, Camille L. M., Kenny, Thomas W.
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Volume:
24
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/JMEMS.2014.2347205
Date:
June, 2015
Fichier:
PDF, 5.31 MB
english, 2015
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