APCVD SiCxOy Deposition as Na Barrier Layers for TCO/Low-E...

MRS Proceedings 2009 / 1 Vol. 1220

APCVD SiCxOy Deposition as Na Barrier Layers for TCO/Low-E Glass Coatings

Zhang, Wei, Salagaj, Tom, Jensen, Christopher, Strobl, Karlheinz, Davies, Michael

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Volume:

1220

Langue:

english

Journal:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/PROC-1220-BB02-02

Date:

January, 2009

Fichier:

PDF, 1.19 MB

english, 2009

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