The effect of implantation dose on the microstructure of...

The effect of implantation dose on the microstructure of silicon nanocrystals in SiO 2

Wang, Y Q, Smirani, R, Ross, G G
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Volume:
15
Langue:
english
Journal:
Nanotechnology
DOI:
10.1088/0957-4484/15/11/032
Date:
November, 2004
Fichier:
PDF, 744 KB
english, 2004
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