International comparison of surface roughness and step...

Metrologia 2006 / 01 Vol. 43; Iss. 1A

International comparison of surface roughness and step height (depth) standards, SIML-S2 (SIM 4.8)

Doytchinov, K, Kornblit, F, Castellanos, C Colin, Oliveira, J C V, Renegar, T B, Vorburger, T V
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Volume:
43
Langue:
english
Journal:
Metrologia
DOI:
10.1088/0026-1394/43/1A/04002
Date:
January, 2006
Fichier:
PDF, 62 KB
english, 2006
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