PostCMOS compatible sacrificial layers for aluminum nitride...

Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 2014 / 11 Vol. 13; Iss. 4

PostCMOS compatible sacrificial layers for aluminum nitride microcantilevers

Pérez-Campos, Ana, Iriarte, Gonzalo Fuentes, Lebedev, Vadim, Calle, Fernando
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Volume:
13
Langue:
english
Journal:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
DOI:
10.1117/1.JMM.13.4.043012
Date:
November, 2014
Fichier:
PDF, 1.97 MB
english, 2014
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