Nanoimprint lithography process chains for the fabrication...

Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 2014 / 07 Vol. 13; Iss. 3

Nanoimprint lithography process chains for the fabrication of micro- and nanodevices

Schift, Helmut, Urwyler, Prabitha, Kristiansen, Per Magnus, Gobrecht, Jens
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Volume:
13
Langue:
english
Journal:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
DOI:
10.1117/1.JMM.13.3.031303
Date:
July, 2014
Fichier:
PDF, 8.20 MB
english, 2014
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